四探針電阻率/方阻測試儀 KD09-KDY-1

（1）儀器采用GB/T 1552-1995硅、鍺單晶電阻率測定直排四探針法
（2）范圍：電阻率10-5～10+3歐姆·厘米，分辨率為10-4歐姆·厘米
方塊電阻10-4～10+4歐姆/□，小分辨率為10-3歐姆/□
（3）可測量材料：半導(dǎo)體材料硅鍺棒、塊、片、導(dǎo)電薄膜等
可準(zhǔn)確測量的半導(dǎo)體尺寸：直徑≥20㎜
可測量的半導(dǎo)體尺寸：直徑≥8㎜
（4）測量方式：平面測量。
（5）電壓表：雙數(shù)字電壓表，可同時(shí)觀察電流、電壓變化
A.電流表量程0~199.99 mV，電壓表量程0~19.999 mV
B.電壓靈敏度：1μv和10μv
C.基本誤差±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)
D.輸入阻抗﹥1000MΩ
E. 4 1/2位數(shù)字顯示，0～19999

四探針電阻率/方阻測試儀 KD09-KDY-1

（6）恒流源：
A.電流輸出：直流電流0.003～100 mA連續(xù)可調(diào)，由交流電源供給
B.量程：10uA，100uA，1 mA，10 mA，100 mA五檔
C.恒流源精度：各檔均≤±0.05%
（7）四探針測試探頭
測量電阻率的小游移探針頭,使用幾何尺寸的紅寶石軸承，量具精度的硬質(zhì)合金探針，在寶石導(dǎo)孔內(nèi)運(yùn)動(dòng)，耐磨，精度高。
A.探頭間距1.59㎜
B.探針機(jī)械游率：±0.3%
C.探針直徑0.8㎜
D.探針材料：碳化鎢，探針間及探針與其他部分之間的絶緣電阻大于109歐姆。
（8）手動(dòng)測試架：KDJ-1A 型手動(dòng)測試架探頭上下由手動(dòng)操作，可以用作斷面單晶棒和硅片測試，探針頭可上下移動(dòng)距離：120mm，測試臺(tái)面200x200(mm)。
（9）精度
電器精度：1-1000歐姆≤0.3 %
整機(jī)測量精度：1-500歐姆·厘米≤3%
（10）電流：220V±10%，50HZ，功率消耗﹤35W